小型真空等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設備，利用真空環(huán)境產生等離子體去處理樣品的表面，達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。具有設備小巧，真空腔容量大，適用于實驗室環(huán)境；清洗過程不會產生高溫，避免產品產生熱變形；可以處理各種各樣的材質，如金屬、半導體、氧化物或高分子材料，應用廣泛。
小型真空等離子清洗機產品參數
1、腔體材質：不銹鋼
2、供電電源：AC220V
3、射頻電源功率：0-500W 可調
4、射頻頻率：25KHz
5、真空度：≤100Pa
6、氣體路數：單路
7、氣體流量：0.1-1l/min(可調)
8、清洗時間：0—999秒連續(xù)可調
9、內腔尺寸：147mm*145mm
10、外形尺寸：452mm*340mm*225mm
11、重量：≈18KG
小型真空等離子清洗機是一種高科技的表面清洗設備，主要用于清洗微小、復雜、高精度、高要求的零部件及器件表面。它采用等離子體原理，將含有污染物、氧化物等雜質的表面暴露在高能離子束下，使這些有害物質與基材分子進行化學反應，最終形成揮發(fā)性物質被清除。
小型真空等離子清洗機的主要優(yōu)勢包括：
1.清洗效果好：可以有效清除復雜零件表面的有害雜質。
2.清洗速度快：操作簡便快捷，不需要任何化學試劑，清洗時間一般在幾分鐘之內就可以完成。
3.清洗精度高：能夠清洗出微小尺寸的污染物，避免表面再次受到污染。
4.操作環(huán)境友好：清洗完畢后不會留下廢料，同時清洗過程中不會產生有害物質。
小型真空等離子清洗機廣泛應用于微電子、半導體、光電、航空航天等行業(yè)的制造、實驗研究等領域，是目前表面處理工藝的重要設備之一。
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